
名 称:Mirau白光干涉物镜
Name: Mirau Obj
应用领域:
Mirau白光干涉物镜通常应用于表面三维形貌检测,是白光干涉仪中最为重要的配套之一。也可以安装于金相显微镜,用来分析样品表面的不规则程度。用户通过对干涉条纹的判读或者通过相应的软件就可以计算出表面三维形貌的相关参数。
特 点:
1.具有自主核心技术的国产化白光干涉物镜
2.结构紧凑,干涉条纹对比度高
3.可适用于各型无限远系统金相显微镜
光学设计:Mirau 无限远白光干涉结构
参 数:
西安恩科微纳光电(O'STAROPT)白光干涉物镜技术参数表
|
| 放大倍数 | 10X | 10X | 20X | 50X |
| 光学设计 | Mirau | Mirau | Mirau | Mirau |
| 数值孔径(NA) | 0.25 | 0.3 | 0.4 | 0.5 |
| 工作距离WD(mm) | 7.4 | 7.4 | 3.7 | 4 |
| 焦距F(mm) | 20 | 20 | 10 | 4 |
| 齐焦距离(mm) | 45 | 45 | 45 | 45 |
| 景深(μm) | 10 | 10 | 3.5 | 1.4 |
视场FOV(mm) (仅供参考) | 1/2CCD+F200 | 0.65X0.45(φ0.8) | 0.65X0.45(φ0.8) | 0.33X0.23(φ0.4) | 0.13X0.09(φ0.16) |
| 1/2CCD+F200+0.5 | 1.3X0.9(φ1.6) | 1.3X0.9(φ1.6) | 0.65X0.45(φ0.8) | 0.26X0.18(φ0.32) |
| 镜头直径(mm) | 28 | 30 | 28 | 27.6 |
| 镜头质量(g) | 85 | 144 | 102 | 110 |
工作波长(nm)
| 400~700 |
| 接口螺纹 | RMS(M20.32x.7055) |
检测效果:(检测案例1,检测案例2,检测案例3)

Mirau物镜

Mirau物镜

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Mirau物镜

Mirau物镜

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Mirau物镜
Mirau物镜(2024).pdf
Mirau干涉物镜(2024.5).pdf
Mirau interferometric objective10X 20X 50X Mirau物镜彩页(英文版)
Mirau干涉物镜尺寸图