2X干涉物镜

名    称：2X干涉物镜

应    用：

     白光干涉物镜主要应用于非接触检测表面微纳级别三维形貌，在半导体行业检测芯表

面轮廓或者涂层厚度，工业制造领域表面超光滑粗糙度，微纳台阶高度，MEMS形貌等。

特   点：

  1.大视场，高分辨率，图像清晰

  2.工作距离长

  3.结构紧凑

  4.360度可旋转

参   数：

  1.镜头设计：ENKEVIEW干涉结构设计

  2.放大倍数：2X

  3.焦       距：100mm

  4.数值孔径：0.055

  5.工作距离：7.5mm

  6.齐焦距离：95mm

  7.视场数：25mm

  8.接口尺寸：M26X0.706

PDF资料下载：

        恩科微纳ENKEVIEW干涉物镜资料.pdf