白光干涉条纹

干涉物镜使用时是否需要微调参考镜?

    在白光干涉光路搭建过程中,经常会出现干涉条纹有了,样品的图像却不是最清晰的状态。或者是图像清晰了,却不出现干涉条纹。也就是经常所讲的干涉条纹跟图像不重合。      实际上这是一个错误的表达,干涉条纹就是图像表面反射的测量光和参考镜反射的参考光相互干涉的结果。可以这样认为,被观察的表面,和干涉条纹就是同一个位置产生(虽然表述不够准确),只是在成像端没有得到清晰的样品表面图像和干涉条纹图像。      一些团队或者实验人员就会想着,把图像调清晰后,镜头的参考端要是能调就好了。似乎这种想法被很多在研究白光干涉的团队认为是最为合理的解决办法。

那么到底能不能通过调整干涉镜头的参考端来将图像和干涉条纹都调清晰?这个需要根据实际的检测工程化应用有关系。以Mirau干涉物镜为例。      从工程化应用中白光干涉相移的部件来讲,如果相移的是整个的白光干涉光路(包括成像光路以及干涉物镜),这种应用中,可以通过调参考镜的方式将图像和干涉条纹调整清晰。      如果相移的只是干涉物镜,而成像端的光路不参与相移。这种类型的应用中,就不建议调整参考镜。      参考镜是干涉物镜的标准组件,不仅仅是加工精度高,还包括安装的位置精度。      那么如何正确分析搭建的干涉光路是否需要调干涉物镜参考镜,需要按照以下的步骤分析。      首先,确定CCD靶面是否已经调整到成像光管的最佳成像面,这个是无限远成像光路的关键所在。      如果已经确定CCD靶面位置已经调整好,然后安装干涉物镜,观察样品表面,这时候图像调到最清晰的时候,干涉条纹也清晰。如果干涉条纹偏离图像清晰位置很明显的时候,就需要调干涉物镜的参考镜位置。     一般使用倍数小于20X的干涉物镜,景深都比较大,使用时基本上不需要调整参考镜。但是50X甚至100X景深很小,就需要考虑参考镜位置是否需要调整。

干涉条纹和图像均清晰

图像清晰,干涉条纹未出现

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图像和干涉条纹都有,都不清晰(不重合)



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