干涉类仪器

大视场白光干涉光路集成(Large FOV WLI Optical Assembly)

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配Mirau物镜效果

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配Mirau物镜及压电陶瓷效果

产品型号:WLI

产品特点:

1. 体积小,大视场光学设计

2. 集成了白光干涉成像的所有单元

3. 成像质量高,干涉质量优秀

4. 国产化的干涉物镜

5. 最小可检测反射率0.5%的表面

6. 可方便整合到其它检测模块中

成套参数:

        1. 成像镜管

结构:大视场短结构同轴光

2. 物镜

标准配置:10X Mirau干涉物镜

选购:5X Linnik,5X FMirau,5X Mirau,10X Linnik,20X Mirau

       3. 光源:LED白光光源,中心波长580nm

4. 被检样品:表面最低反射率大于0.5%

应用案例:

55

66

14


26

27

25

所属类别:干涉类仪器

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