名 称：白光干涉实验装置

型 号：WLI-TILT

仪器简介：

    WLI-TILT白光干涉实验装置适用于科研，教学，以及工业生产的产品表面粗糙度，微小台阶，面型平整程度的检测。也可以用来检测膜层厚度，表面损伤，不良分析。

仪器特点：

   1.体积小，结构紧凑，集成度高

   2.使用国产化干涉物镜

   3.有更大的上下移动距离，可以满足更大尺寸样品的检测

   4.仪器采用测头可倾斜调整设置

   5.可检测粗糙度，表面微纳划伤深度及膜层厚度

   6.软件可以模拟检测区域三维轮廓

   7.可方便加装相移器，实现白光干涉检测

仪器参数

1.物镜：10X Mirau干涉物镜。

2.光源：LED白光光源，亮度可调，中心波长560nm。

3.调焦座：同轴双速调焦，行程50mm。

4.工作台：台面180X155mm,X行程75mm，Y行程55mm，360°旋转。

5.测头调整：左右摆动±5°，垂直倾斜范围0~5°。

6.摄像头：彩色相机或黑白相机可选。

7.软件：CRWLI微纳轮廓检测软件，SHAPE3D光学3D轮廓检测软件均可选