三维形貌检测

使用超长工作距离Mirau物镜检查沉台底部三维形貌

物镜介绍:       结构类型:Mirau       放大倍数:10X       数值孔径:0.3       工作距离:20mm       齐焦距离:95mm       视 场 数:25mm       重     量:270g       接     口:M26 被检测件:       机械加工的沉孔底部台面三维形貌,台面深度10mm。

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10X NA0.3 WD16 Mirau干涉物镜

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被检测的产品

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检测过程

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沉台底部三维形貌







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